高品質(zhì) 從第一臺(tái)寶大拉力機(jī)開(kāi)始
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規(guī)格型號(hào)：PT-5000G-500
數(shù)據(jù)指標(biāo)：基板平整度 ＜10u 基板浸潤(rùn)性＜15° 基板溫度 23±2℃
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PT-5000G精密涂布實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)是我司專為實(shí)驗(yàn)研發(fā)而設(shè)計(jì)的一種新型高精度，高可靠，高穩(wěn)定性的實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)。該設(shè)備特點(diǎn)是：搭配自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度涂膠Pump、高精密狹縫模頭，將藥液均勻涂覆在剛性基片上，制備具有較高膜厚均一性的大面積薄涂層。
（1） | 基板尺寸 | 500mm*500mm |
（2） | 基板平整度 | ＜10u |
（3） | 基板浸潤(rùn)性 | ＜15° |
（4） | 基板溫度 | 23±2℃ |
（1） | 類型 | 異丙醇、DMF、DMSO等有機(jī)溶劑或其它混合溶劑 |
（2） | 粘度 | 1~70CPS |
（3） | 固含量 | 7%~50% |
（1） | 成膜方式 | 狹縫式涂布 |
（2） | 粘度 | 300nm~10um（干膜） |
（3） | 成膜均一性 | 片內(nèi)≤5%，片間≤5% |
2.3.1涂布模頭序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) | 備注 |
1 | 材質(zhì) | SUS630 | |
2 | 涂布寬幅 | 450mm | |
3 | 平面度/直線度 | ≤3um | |
4 | 內(nèi)腔粗糙度 | Ra≤0.025 | |
5 | 狹縫間隙 | 墊片式，墊片厚度均勻性≤±2um | |
6 | 間隙調(diào)節(jié)范圍 | ≤±10um | |
7 | 除邊范圍 | ≤10mm | |
8 | 涂布頭防撞組件 | 低于唇口20um，有效防止唇口發(fā)生碰撞 | |
9 | 涂布頭校正 | 采用高精度直線位移傳感器自動(dòng)校正 | |
10 | 排泡設(shè)計(jì) | 模頭腔室高位排泡孔 |
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) | 備注 |
1 | 泵體材質(zhì) | SUS316L | |
2 | 密封圈材質(zhì) | 耐腐蝕密封圈 | |
3 | 泵容積 | 5ml | |
4 | 驅(qū)動(dòng)控制 | 伺服電機(jī)、滾珠絲桿 | |
5 | 吐液控制分辨率 | 0.01ul/s | |
6 | 響應(yīng)時(shí)間 | 0.01s | |
7 | 吐液速度 | 0~2000ul/s | |
8 | 最大吐液加速度 | 2000ul/s2 | |
9 | 功能配置 | 1）供液泵補(bǔ)液后自動(dòng)泄壓功能； 2）出液延時(shí)功能； 3）末端回吸功能； 4）自動(dòng)補(bǔ)液功能； 5）多段式涂布調(diào)節(jié)； |
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
1 | Z軸數(shù)量 | 2個(gè) |
2 | Z軸分辨率 | 0.1um |
3 | Z軸驅(qū)動(dòng)控制 | 伺服電機(jī)、研磨級(jí)絲桿、導(dǎo)軌 |
4 | Z軸重復(fù)定位精度 | ≤5um |
5 | Z軸速度區(qū)間 | 0~50mm/s |
6 | Y軸驅(qū)動(dòng)形式 | 平臺(tái)驅(qū)動(dòng) |
7 | Y軸驅(qū)動(dòng)控制 | 伺服電機(jī)、研磨級(jí)絲桿、導(dǎo)軌 |
8 | Y軸速度區(qū)間 | 0~200mm/s |
9 | Y軸運(yùn)動(dòng)面精度 | 優(yōu)于±5um |
10 | Y軸重復(fù)精度 | ≤5um |
11 | 功能配置 | 1）涂布加速、減速可設(shè)定調(diào)節(jié)； 2）Coating Gap可調(diào)； 3）末端回吸Gap可調(diào)； |
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) | 備注 |
1 | 材質(zhì) | 000級(jí)花崗巖 | |
2 | 適配基板尺寸 | 500*500mm | |
3 | 表面平整度 | 水平度≤±5um | |
4 | 基板定位 | 平臺(tái)真空吸附 | |
5 | 基板對(duì)位方式 | 手動(dòng) | |
6 | 取放片方式 | 手動(dòng) |
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) | 備注 |
1 | 管路材質(zhì) | PFA | |
2 | 供液罐 | 剝離材質(zhì)，100ml容積 | |
3 | 供液方式 | 罐體加壓 | |
4 | 清洗罐 | 不銹鋼材質(zhì) |
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) | 備注 |
1 | 預(yù)涂方式 | 預(yù)涂平臺(tái) | |
2 | 模頭唇口清洗 | 手動(dòng) | |
3 | 浸泡、排液槽 | 設(shè)備閑置、管路清潔、排廢時(shí)使用 |
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) | 備注 |
1 | 觸摸屏 | 預(yù)涂平臺(tái) | |
2 | Log記錄功能 | 每片基板涂布過(guò)程可查看，包含涂布機(jī)各軸在涂布過(guò)程中各時(shí)間點(diǎn)速度位置參數(shù) | |
3 | 操作權(quán)限 | 三種操作權(quán)限登錄 設(shè)備手動(dòng)、半自動(dòng)、自動(dòng)動(dòng)作可全部在界面進(jìn)行操作 |
